2.1.2 影响紫外高反膜光学性能的主要因素
2.1.2.1 高折射率材料的消光系数
理论上,对于的规整膜系,多层膜的反射率会随着薄膜层数的增加而无限制地接近100%,而实际上由于膜材料本身的吸收、散射等影响,多层膜的实测反射率要比理论值小很多。在这种条件下,高反射膜的反射率,在一定周期数下,会达到饱和甚至下降。在紫外区,由于高折射率薄膜的消光系数随波长变短而迅速增大,成为影响薄膜反射率提高的重要因素。图2-1-4给出高折射率材料消光系数为0.6、折射率为2.0、低折射率材料消光系数为0、折射率为1.46时,分别在0°和45°入射条件下,规整膜堆(HL)nH的反射率随(HL)周期数n变化的规律。当考虑高折射率材料存在较大的消光系 ...... (共2682字) [阅读本文]>>