2.2.1 软X射线多层膜设计的基本理论
前面说过,软X射线多层膜的基本理论是建立在一般光学薄膜的基本理论之上的。但是软X射线光波振动的频率高、光子能量大,在多层膜中反射的物理模型与普通的光学薄膜有所不同。几十年来,极紫外和软X射线薄膜得到极大的发展,其中比较重要的工作是不同波段薄膜材料光学常数的获得和多层膜相关理论的建立[1~9]。1972年Spiller在研究了不同材料在软X射线波的光学常数后,提出了利用不同原子序数的材料组合设计软X射线多层反射膜的思想,由此建立了软X射线多层膜的理论基础。
对于波长较长的光波而言(大于100 nm),光在两种材料的界面上可能具有较高的反射率。但对于软X射线来说,因为波长 ...... (共4639字) [阅读本文]>>