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2.2.2.1 2～30 nm波段，几种软X射线多层反射膜的材料对的优化设计结果
根据X射线反射膜材料对的一般选择原则，对几十种可能的薄膜材料进行配对组合，并进行优化设计。从而在不同波段，得到了最佳组合，最佳厚度比，并算出了可能达到的反射率。结果如图2-2-8所示。设计时采用的入射角为0°，层数为201层，基底为单晶Si。随着波长的不同，可以实现最高反射率的材料对以及材料对在周期内的比例也不同。图中给出在特定波长或波段可以实现高反射率的材料组合，包括3～4 nm的Ag/B，6.5 nm的C/B，11 nm的Ru/Be， 17 nm的Nb/Al以及25 nm的Se/Mg。用这些组合可能在水窗波段得到60%左右的反射率，在其他几个波长 ...... （共5097字） [阅读本文]>>
光学薄膜及应用光学薄膜设计的理论基础是麦克斯韦方程组，从理论观点来说，研究薄膜系统的光学特性就是研究平面电磁波通过分层介质的传播，因此处理薄膜问题的最有效方法是解麦克斯韦方程组[1]：·D=4πρ(1-1-1)×E
光学薄膜及应用1) 共振吸收如果把原子分子体系看做是谐振子体系，这个体系在电场E=E0e-iω t的作用下，满足强迫振动方程：m0+m0γ+Kx=-eE0e-iω t(1-1-21)式中，m0为电子质量，e为电子的
光学薄膜及应用从光的电磁理论出发，光吸收主要是由介电常数中的虚部引起的。这时，介质的折射率也变为复数。即＝n-ik(1-1-37)式中，为复折射率;n为折射率;k为消光系数。由于消光系数的存在，光在通过电介质时，将
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光学薄膜及应用1.1.4.1 表面统计参量光学材料表面微粗糙的存在，是材料本身及加工过程带来的必然结果。设z(x)是真实表面x处偏离平均平面的高度函数，由于它的高低起伏被认为是一个静态随机过程，为了更好地了解表面的
光学薄膜及应用实际的光学薄膜，由于在沉积过程中工艺条件的变化，在薄膜生长方向上折射率会发生相应的变化，这种现象叫做薄膜的不均匀性，而折射率具有确定的不均匀性的薄膜叫做非均匀膜或渐变折射率薄膜。1.1.5.1 不均匀
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