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1.5.1.2 对流辅助化学气相沉积

分类：薄膜太阳能电池449字

作为最近发展的大规模生产工艺，对流辅助化学气相沉积(Convection assisted Chemical Vapor Deposition， CoCVD)可以有效地使用热对流，以控制反应腔中的气体流动，并且通过对流回收未充分使用的气体前驱物[90]，如图1.23所示。反应腔与水平方向的夹角为α，可以通过倾斜角度α控制对流，而热对流会增加前驱物气体的流动以及流动的稳定性。冷气体被送入反应腔，沿着冷腔体侧壁向下流动。冷腔体侧壁对面的侧壁是加热的衬底，气体沿着加热的衬底向上流动，在衬底上发生沉积，形成外延层，加热的衬底驱动气体进行对流。发生化学反应的部分气体通过出口离开反应腔，而远离衬底的部分气体仍然留在对流 ......     （共449字）    [阅读本文]>>

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