2.3 区熔再结晶
对于本章论述的异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池,区熔再结晶ZMR是一个核心技术。这一工艺在很大程度上决定了Si薄膜的结晶质量和电学质量。本节从ZMR的发展开始论述,再介绍ZMR的薄膜生长过程和薄膜的特性。然后重点讨论扫描速度(scan speed)对薄膜质量的作用,这一参数是工艺成本的主要决定因素。再论证ZMR系统的具体实现,原位工艺控制(in situ process control)是自动化高速工艺的重要特征。本节最后将陈述陶瓷衬底上的ZMR结果 ...... (共222字) [阅读本文]>>