2.3.3.1 晶粒尺寸增大
区熔再结晶ZMR的最重要作用是增大籽晶层的晶粒尺寸,其机理的解释参见2.3.2节。对ZMR之前和之后的籽晶层分别进行射哥蚀刻,可以观测其晶体结构的横截面:
● ZMR之前的刚沉积后层:典型的刚沉积后层中,晶粒尺寸在μm量级,最先沉积的5μm部分包含更小的亚微米尺寸晶粒,如图2.6(a)所示;
● ZMR之后的籽晶层:在垂直于扫描方向的横截面图像中,选定的区域只有1条晶界,微晶结构被较粗的晶粒结构所替代,晶粒尺寸通常远远超过100μm,如图2.6(b)所示。
图2.6 微分干涉相差显微镜DIC观测了单晶硅衬底SiO2中间层上生长的Si层
(a) 区熔再结晶ZMR之前的刚沉积后层; (b) ZMR之后的籽晶层[94]
微分干涉相差显微镜( ...... (共1149字) [阅读本文]>>