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2.3.3.3 高扫描速度区熔再结晶

分类：薄膜太阳能电池2421字

在区熔再结晶ZMR工艺调整的许可范围内，更高的成本可以直接转化为扫描速度的增加。原则上，ZMR不是高投资的工艺，所以主要的投资成本来自于单位面积的工艺成本。进一步的计算表明，为了使ZMR成本低于10/m2，工艺的扫描速度必须高于100mm/min，每台设备的生产速率必须高于10000m2/a[95]。虽然多数文献报道的扫描速度在10～20mm/min范围，但是在90年代初，日本三菱电机研究了更高扫描速度对晶体结构和缺陷密度的影响[64， 91， 96]。他们专注于相对较薄的籽晶层，厚度最高为1μm，扫描速度最高达到360mm/min。三菱电机研究工作的主要成果为：

● 对厚度大于1μm的薄膜，扫描速度的增加是比较有害的，因为 ......     （共2421字）    [阅读本文]>>

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