2.3.4 区熔再结晶设备
如前所述,用线性卤钨灯等非相干光源作为热源的区熔再结晶ZMR可以制备质量最好的籽晶层,具有较理想的晶粒结构、缺陷密度和工艺相关污染。所以,线性卤钨灯热源的ZMR工艺实现了性能最好的异质衬底晶体硅薄膜太阳能电池,正在被数个研发团队研究。ZMR设备发展的主要问题是提高生产速率,为此要在几个方面进行研究:
● 放大薄膜宽度;
● 减小样品加载(loading)和卸载(unloading)的时间;
● 增加ZMR扫描速度;
● 改进自动化工艺控制。
目前,在这些方面可能是最先进的ZMR设备,正在德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所FhG-ISE运行[98, 100] ...... (共270字) [阅读本文]>>