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一、常用概念

分类：扫描电镜与能谱仪分析2873字

1.扫描

电子枪产生的高能电子束入射到样品的某个部位时，在相互作用区内发生弹性散射和非弹性散射事件，从而产生背散射电子、二次电子、吸收电子、特征和连续谱X射线、俄歇电子、阴极荧光等各种有用的信号，利用合适的探测器检测这些信号大小，就能够确定样品在该电子入射部位内的某些性质，例如微区形貌或成分等。为了研究样品上更多部位的特征，必须利用扫描系统移动入射电子到样品上的不同位置。通常电子束在扫描作用下随着时间顺序沿样品X方向通过一系列位置点1，2，3…，见图3-1，依次对每点进行相互作用，在完成这行扫描之后，又以极短的时间回扫到第二行的起始位置，即在 ......     （共2873字）    [阅读本文]>>

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