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四、操作要点

分类：扫描电镜与能谱仪分析4382字

现代扫描电镜的操作步骤大部分由计算机控制，使用者把样品放入仪器，抽真空、加高压、调焦和变倍、图像亮度和衬度自动调节、拍照和记录图像。整个过程很简单。但是，为了获得满意的图像，在使用仪器前，应该根据研究课题的要求，选择仪器合适的工作条件，了解主要操作步骤对仪器性能发挥的影响，确定成像方式，这对于使用者是必要的。

1.电子光学系统合轴

扫描电镜的电子光学系统由电子枪、聚光镜、物镜和物镜光阑组成，为保证电子束沿这些部件的轴线穿行，必须调节这些部件同轴，这就是“合轴调整”，也称“轴线对中”。合轴好的系统成像最亮，像差最小，分辨率明显改善。

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