电镜操作有许多调整环节，但最终反映在电镜参数的变化上，对图像的形成和质量均有直接影响。图6-1为入射到样品表面的电子束，其中有四个参数：加速电压Eo、电子束流ip、电子束斑直径dp、孔径半角αp与电子束直接相关;V为样品附近的真空度。分别设定或调整以上几个参数，可以获得不同的成像模式。
图6-1 与成像有关的技术参数
(1)常规成像
按第五章的操作要点调整电镜，可以获得优质图像。对于大多数样品能够满足要求。
(2)低衬度成像
减小聚光镜激励，增大dp，使得ip显著增加;样品也可以适度倾斜。适于自然衬度低的样品的观察，如表面平坦或成分均一的样品。
(3)大景深成像
选用大工作距离(WD ...... （共763字） [阅读本文]>>
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