在薄膜中取一个微区，其大小为Δx， Δy， Δz，如图1-2-4所示[3， 4]。
图1-2-4 薄膜中微区应力取向示意图
在受力状态下，一般可以表现为6个正应力(应力方向与坐标轴平行，分别为σx， σy， σz， σ-x， σ-y， σ-z)和6个切应力(取向位于坐标轴垂直的平面内，分别为τxy， τxz， τyx， τyz， τzx， τzy)。
当材料处于力学平衡时，则有
σx＝σ-x， σy＝σ-y， σz＝σ-z
τxy＝τyx， τyz＝τzy， τxz＝τzx
这就是说，薄膜中任何一个微区，存在6个独立的应力变量。
选择特定的坐标系，消除薄膜中的切应力，只存在相互垂直的3个正应力σ1， σ2， σ3，称为主应力。与之相对应的3个主应变分别为ε1， ε2， ε3;主应力与主应 ...... （共622字） [阅读本文]>>
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