1.2.5 多层膜应力
1.2.5.1 多层膜应力的物理模型
为了实现特定的光谱性能,光学薄膜多数是由多层膜组成。与单层膜不同,多层膜的应力发展涉及多种薄膜材料的热物参数的组合及多个界面的力学匹配问题,其物理过程比单层膜更复杂。下面对多层膜中几种应力形态作简单的分析。
假设多层膜中的膜层在平行于基底的平面上为各向同性,而且膜层之间的界面互不相湿,在已知单层膜中平均应力的条件下,由A, B两种膜层交替沉积而成的多层膜中每一周期的沉积应力可表示为[22]
σ=σA+σB+(fAB+fBA)
(1-2-27)
式中,N为两种材料的界面数;t为膜层的周期几何厚度;dA, dB分别为周期中两层膜的几何厚度;σA, σB分别为A, B两种材料 ...... (共3399字) [阅读本文]>>