2.2.4 软X射线多层膜反射镜的研制
软X射线多层膜的制备较之可见光多层膜有更严格的技术要求。镀膜设备必须做到:①能按原子尺度在镀膜过程中实时控制膜厚;②膜层足够均匀;③尽量减少界面变粗糙和两种材料在界面处的渗透扩散;④有足够长的稳定时间以适应制备层数很多的多层膜。由于制备技术的困难,最早的一些实验都没有成功。在X射线薄膜的实际制备方面做出重要贡献的是Spiller, Barbee和Steams。他们分别于1985年、1986年和1991年报道了他们在软X射线多层膜制备方面的研究成果[10~12]。如果说在20世纪70年代末80年代初,软X射线多层膜制备还处于探索阶段,所制备的薄膜要么性能比较差,要么性能退化快。那么,随后,软X射线 ...... (共1818字) [阅读本文]>>