第一章 基础知识
对于材料科学、电子、地质、物理、化工、农医、公安、食品和轻工等领域的科学研究，人们总是关心微观形态、晶体结构和化学组成与宏观物理或化学性质之间的关系。光学显微系统已不能满足需要。电子显微系统的出现，使分...查看详细>>
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一、分辨率和光的衍射
1.人眼分辨率人眼分辨率通常指在正常照明条件下，肉眼可以分辨出两个最近物点的距离。一般认为在250mm的明视距离上，人眼分辨率为0.2mm，如图1-1所示。图1-1人眼分辨率为了提高分辨率，通常借助光学...查看详细>>
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二、电子波和电磁透镜
1.电子波鉴于电子的波动性，德布罗意认为带电粒子与光波之间极为相似，具有波动性，电子波就是一种德布罗意波。式中：h为普朗克常数;m为电子质量;v为电子运动速度。当电子初速为0时，在电场中从0电位开始运动...查看详细>>
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三、电磁透镜的像差
当用放大镜读报纸时会发现，镜片中心附近的文字清洗可辨，而在镜片边缘的文字模糊不清，而且黑色的文字周围均有五彩的色边。这是失真的图像，是由于透镜成像的像差造成的。电磁透镜也有像差，它不能把一个理想的物点聚...查看详细>>
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四、几种显微镜的比较
光镜(OM)的出现，开辟了微观视野。1939年德国人B.Borris和E.Ruska推出第一台商业透射电镜(TEM)，分辨率提高到亚微米范围。透射电镜与光镜有许多类同之处，例如：光源、分辨率、放大倍率、...查看详细>>
3054字5图第二章 电子束与样品的相互作用
电子束与样品相互作用产生的各种信号是扫描电镜获得广泛应用的基础。本章重点讲述扫描电镜和电子探针仪所应用的主要信号，探讨每种信号的成因、取样区域和携带信息。...查看详细>>
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一、散射
图2-1电子散射示意图(a)弹性散射，碰撞后的瞬间能量Ei＝Eo;(b)非弹性散射，瞬间能量Ei≪Eo，φi≪φe。在扫描电镜镜筒中，电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速，入射到...查看详细>>
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二、相互作用区
弹性散射过程和非弹性散射过程是同时发生的，前者使束电子偏离原来运动方向，并使电子在样品内部扩散，后者使电子能量逐渐减少直至被样品完全吸收，因此限制了电子束的扩散范围，电子束的能量完全沉积在扩散区内，同时...查看详细>>
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三、样品受激发出射的主要信号
1.背散射电子(Backscatteredelectron，简称BSE)以实验为例：用已知量的束流入射到正偏置的样品中，仅约70%的电子能量消耗在作用区内，其余30%的电子从样品中背散射出来，这是背散射...查看详细>>
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一、常用概念
1.扫描电子枪产生的高能电子束入射到样品的某个部位时，在相互作用区内发生弹性散射和非弹性散射事件，从而产生背散射电子、二次电子、吸收电子、特征和连续谱X射线、俄歇电子、阴极荧光等各种有用的信号，利用合适...查看详细>>
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